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光學(xué)狹縫片蝕刻加工
發(fā)布日期:2022-05-12

狹縫片

狹縫片是一種應(yīng)用于光譜儀器細(xì)微配件,光譜儀器分經(jīng)典光譜儀和新型光譜儀兩大類。前者是建立空間色散原理上的儀器,后期是建立在調(diào)制原理上儀器。而狹縫片則是通過(guò)一對(duì)隔板在光通路上形成的縫隙,調(diào)節(jié)入射單色光的純度和強(qiáng)度,也直接影響分辨力。

狹縫片上狹縫的實(shí)際寬度以毫米表示,而光譜頻帶寬度,即出射狹縫的光譜寬度同樣是毫米表示。當(dāng)出射狹縫的寬度是6mm,所指的狹縫射出的光6mm光譜帶寬。純單色光分光光度計(jì)能得到的單色光實(shí)際上具有一定波長(zhǎng)范圍的譜帶。狹縫越寬,波長(zhǎng)范圍越寬。對(duì)于單色光的純度,狹縫越窄越好,但光的強(qiáng)度越弱。故狹縫不能無(wú)限小。狹縫的最小寬度取決于探測(cè)器能夠準(zhǔn)確測(cè)量的最小光能。狹縫片生產(chǎn)工藝分光化學(xué)蝕刻和激光切割。然而,普遍的精密儀器通常通過(guò)光化學(xué)蝕刻整版制作,窄縫片最小縫寬可實(shí)現(xiàn)0.05mm,蝕刻后,狹縫片黑化整個(gè)版本,然后批量拆下進(jìn)行包裝和運(yùn)輸。

 激光切割縫寬也可以達(dá)到0.05mm,但切割狹縫會(huì)有激光燒結(jié)殘留,縫隙不夠細(xì)膩,精度要求低的光學(xué)儀器。狹縫片蝕刻加工相比于激光切割的工藝相比,即狹縫片蝕刻加工在追求高精度、微米級(jí)的公差上通過(guò)蝕刻工藝能夠達(dá)到理想的狀態(tài)。

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